《半导体流动量传感器》PDF+DOC
作者:林柏枫,牟晓杰
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》1992年第05期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS1992050080
DOC编号:DOCYBJS1992050089
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该传感器是利用热传导和热耗散的原理,采用半导体平面工艺研究制造的。介绍了该传感器的结构原理、制造工艺、开发应用等,是一种很有发展前途的流动量传感器。
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