《一种在芯片上带有补偿电路的通用硅压力传感器》PDF+DOC
作者:郑伟
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》1990年第05期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ1990050100
DOC编号:DOCCGQJ1990050109
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本文提出了一种硅压阻式压力传感器校准和温度补偿的新思想,根据这种思想,把压阻惠斯顿电桥同可调的多晶硅电阻电路组合在同一芯片上,本文叙谜了这种传感器的设计、制作及其测最特性。
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