作者：陈秀英,张秀珍,武树岭,李伟,肖富斌 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1991年第02期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1991020080 DOC编号：DOCCGQJ1991020089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 因为铝电极的声阻抗与水晶的声阻抗比较匹配，所以水晶表面波压力传感器大都使用铝电极。可是，若机械地照搬晶体管和固态压力传感器的热压键合工艺，利用硅铝丝作为引线材料进行热压，那么由于硅铝丝和铝膜外面有一层氧化膜不易去除，使焊接点出现假焊而不牢；倘若采用金丝作引线，那么在高温工作时焊接处将

    📙 相关资料

    1. 《提高压力传感器引线键合质量的工艺研究》PDF+DOC 不同的键合工艺参数的设置及匹配会对引线键合质量构成显著影响，进而影响压力传感器的可靠性。首先对压力传感器引线键合工艺进行了简要介绍，然后对如何进行引线键合工艺参数的优化控制进行了系统描述，最后结合实际提出了压力传感器常见的引线键合失效模式、质量控制方法及测试结果，在压力传感器的引线键合工艺中具有很好......
    2. 《MEMS硅铝异质结构压力传感器的设计制作与测试研究》PDF+DOC 金属半导体异质混合结构是一种特殊的压阻结构，其具有高于传统MEMS压阻式压力传感器的压阻性能。鉴于此，设计和研究了一种由掺杂单晶硅和金属铝混合形成的MEMS异质结构压力传感器。首先结合理论模型和ANSYS有限元模拟仿真分析了硅铝异质结构传感器的灵敏度特性，然后通过MEMS工艺制作了硅铝异质结构压力传......
    3. 《国外传感器技术文摘》PDF+DOC 叙述了水晶传感器的概况及其种类，并列举实例介绍了随着水晶振子振荡频率随温度、外力、振子的质量而变化的温度传感器、力传感器、物质效应传感器以及利用振子的晶体阻抗值变化的传感器和利用回波信号的传感器及其原理结构与特点等。(文中...
    4. 《水晶广义表面波压力传感器初探》PDF+DOC 本文在水晶表面波压力传感器SAWPS的基础上，提出了一种新模式压力传感器——水晶广义表面波压力传感器(GSAWPS)。实验结果表明，它在一定程度上克服了SAWPS的缺点，对研制性能优良的压力传感器有一定参考价值。...
    5. 《高精度、高稳定的水晶压电压力传感器》PDF+DOC 一、前言 目前工业上广泛使用硅压阻效应压力传感器。在普通工作环境下，其性能可以满足一般要求，可是倘若在恶劣环境条件下使用或要求高精度测量，会感到其温度漂移太大，易腐蚀，其动态范围和寿命远...
    6. 《汽车传感器(一)》PDF+DOC 汽车传感器是实现汽车电子化的关键性技术。本文以汽车的发动机控制为中心，介绍汽车传感器的车载条件和特点，以及汽车各子系统所需要的各种传感器。...
    7. 《超声键合过程中键合压力特性的实验研究》PDF+DOC 建立了超声键合压力的测量工作台，对工作台进行静态线性度标定和动态重复性测量，利用动态压电测力传感器对超声键合系统键合压力大小进行测量，得出不同压力作用下传感器力响应曲线图，分析其频谱图，发现保持某一固定功率(4.5格2.25W)，可以找到合适的键合压力(5格0.719N)与其匹配。这些实验现象和结果......
    8. 《压力传感器引线键合的质量控制及优化工艺条件的实现》PDF+DOC 本文首先对压力传感器的引线材料及相互间接触界面的冶金效应，引线的可键合性、可靠性及其影响因素做了介绍；然后对超声键合工艺、焊点质量的控制作了描述；最后阐述了我们所采用的引线工艺步骤，其能实现引线键合的工艺优化。...
    9. 《压力传感器引线键合金线的振动疲劳研究》PDF+DOC 本文对一种汽车用MEMS压力传感器中的键合金线，在加速振动试验时的疲劳情况进行了研究。首先简单介绍了MEMS压力敏感芯片引线键合以及引线的基本情况，然后利用有限元方法对引线在20g的加速振动下的疲劳和寿命进行了分析，并利用了概率上的冗余理论对键合工艺提出了改进，最后给出了实际的结果，证实了模拟和改进......
    10. 《基于ANSYS的换能系统的模态分析》PDF+DOC 超声换能器是在微电子制造超声键合工艺中的一个重要部件，了解超声换能器的振动模态是非常有必要的。用有限元分析软件ANSYS仿真，得到换能系统的多种振动模态，进而得出其工作频率和主模态。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。