《用于力敏传感器研制的简易双面光刻装置》PDF+DOC
作者:袁璟
单位:东南大学
出版:《电子器件》1990年第04期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZQJ1990040090
DOC编号:DOCDZQJ1990040099
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利用原有的单面光刻设备,附加简单的真空吸附光刻附件,可以对图形尺寸较大的硅杯式力敏传感器进行双面光刻,实验表明利用这一装置研制的4×;4触觉传感阵列,光刻精度满足要求。
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