《电容式压力传感器的开关电容接口》PDF+DOC
作者:黄跃安,戴克中
单位:陕西鼓风机(集团)有限公司
出版:《工业仪表与自动化装置》1993年第06期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGYZD1993060120
DOC编号:DOCGYZD1993060129
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引言目前,扩散硅压阻式桥路和离子注入式硅膜片集成压力传感器的线性都很好,但它们的温度特性差,功耗也较大。相比之下,电容式压力传感器的温度特性要好得多,功耗也小。它的灵敏度是压阻桥路压力传感器的10~20倍,正在研制中的开关—电容(SC)接口非常适用于
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