《电容式压力传感器微电容测量集成电路的研究》PDF+DOC
作者:茅盘松
,华钧歧
,朱静远
单位:东南大学
出版:《电子器件》1992年第02期
页数:15页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZQJ1992020020
DOC编号:DOCDZQJ1992020029
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采用开关电容技术的Boxcar积分原理设计的,为测量电容式压力传感器微电容的接口电路已提出,它由Boxcar积分器,锁存器,脉冲宽度调制器和控制信号电路组成。 这个接口电路,采用3μmP-阱CMOS双层多晶硅栅工艺研制,管芯面积为2.5×;3.5mm~2。测试结果表明,接口电路具有较好的灵敏度,它完全适用于与硅集成电容式压力传感器集成在同一芯片上。
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