《康铜薄膜电阻应变传感器的制作》PDF+DOC
作者:黄蕙芬,陈国平,何学梅
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》1992年第03期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS1992030100
DOC编号:DOCCGJS1992030109
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在应变元件与应变膜之间允许直接形成一体的场合下,把应变电阻元件沉积在接受应变的弹性元件上,将使应变传递性能大大改善,这是不言而喻的.但需解决应变电阻膜与接受应变的金属弹性片间的绝缘层问题.本文介绍作者研制的康铜薄膜电阻应变传感器的制造工艺和测试结果,证实了采用双层介质膜是解决绝缘隔离这一技术难点的良好途径。
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