《用GaAs压电传感器测量压力》PDF+DOC
作者:K.Fricke,徐励
单位:中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心
出版:《中国检验检测》1991年第03期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFXDJL1991030140
DOC编号:DOCXDJL1991030149
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1.引言测量100bar 左右的压力通常用石英压电传感器完成。而砷化镓(GaAs)是一种半导体材料,具有做成砷化镓集成电路的优点。又由于这种材料具有高能带隙,因此适于做高温电路材料。本文介绍了砷化镓压电式压力传感器。
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