作者：娄向东,夏志清,沈荷生,沈瑜生 单位：河南师范大学 出版：《河南师范大学学报(自然科学版)》1993年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHNSX1993040100 DOC编号：DOCHNSX1993040109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 将纯的ZnO及SnO_2采用等离子溅射法制成ZnO/SnO_2双层膜，用XPS，SEM，XRD等手段对薄膜进行了分析测试。比较了单层SnO_2及ZnO薄膜与双层ZnO/SnO_2膜的气敏性质，发现双层膜较单层膜在灵敏度及选择性上都有所提高。简单讨论了元件的气敏机制。

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