作者：林海安,张家慰,陈健,黄明程 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1993年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1993010010 DOC编号：DOCCGJS1993010019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍一种以玻璃作绝缘介质膜的SOG压力传感器，探讨了实现SOG材料良好键合的关键工艺，研究了以腐蚀自致停技术为核心的减薄成膜方法.结果表明，SOG传感器在高温、大压力方面颇具潜力。

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