作者：冯景星 单位：福州大学 出版：《福州大学学报(自然科学版)》1992年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFFZDZ1992030050 DOC编号：DOCFZDZ1992030059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 结合扩散硅压阻式压力传感器的研制．根据硅的压阻效应原理，利用方形硅膜的应力分 布公式，论述了提高正方形硅膜压阻式压力传感器灵敏度的几个重要措施．

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