《背面接触引出的PH传感器》PDF+DOC
作者:陈德英
,唐国洪
,周天舒
,刘开宇
单位:东南大学
出版:《电子器件》1992年第02期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZQJ1992020010
DOC编号:DOCDZQJ1992020019
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本文介绍了一种背面接触引出的ISFET型PH传感器的结构设计、工艺制备、封装技术和测试结果。这种结构的优点是提高了传感器的可靠性和寿命。
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