《双狭缝式光触针表面轮廓传感器的研究》PDF+DOC
作者:严慎,马石林,张鄂
单位:上海交通大学
出版:《上海交通大学学报》1992年第04期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFSHJT1992040090
DOC编号:DOCSHJT1992040099
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本文提出一种双狭缝式光触针表面轮廓传感器,并采用激光束光学方法计算其特性及各结构参数与特性的关系.实验研究所得到的特性曲线和理论分析是一致的.本文还给出了对矩形轮廓及三角形轮廓样板的实测结果。
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