《光纤传感器自动瞄准试件边缘测量系统》PDF+DOC
作者:王春和,叶声华
单位:中国仪器仪表学会
出版:《仪器仪表学报》1992年第02期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYQXB1992020120
DOC编号:DOCYQXB1992020129
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在小位移测量或材料的热膨胀系数测量中,用一种差动式光纤传感器瞄准试件的边缘。为了提高测量精度,用微机、接口、PZT 和直角棱镜组成闭环系统,实现零差法测量。直角棱镜跟踪位移用干涉仪测量。测量系统的跟踪瞄准精度优于0.1μm。
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