作者:王春和,叶声华 单位:中国仪器仪表学会 出版:《仪器仪表学报》1992年第02期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYQXB1992020120 DOC编号:DOCYQXB1992020129 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 在小位移测量或材料的热膨胀系数测量中,用一种差动式光纤传感器瞄准试件的边缘。为了提高测量精度,用微机、接口、PZT 和直角棱镜组成闭环系统,实现零差法测量。直角棱镜跟踪位移用干涉仪测量。测量系统的跟踪瞄准精度优于0.1μm。

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