《具有500倍保护的单晶硅压力传感器》PDF+DOC
作者:吴原
单位:东南大学
出版:《电子器件》1990年第02期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZQJ1990020150
DOC编号:DOCDZQJ1990020159
下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于硅硅键合技术的高精度压力传感器的研究》PDF+DOC2017年第05期 李颖,张治国,郑东明,梁峭,张哲,刘剑,祝永峰
《SMI硅微结构超低压力传感器》PDF+DOC1997年第04期 孙定浩
《SMI硅微结构超低压力传感器》PDF+DOC1997年第07期 孙定浩
《SG系列扩散硅固态压力传感器》PDF+DOC1994年第04期
《掺杂浓度对多晶硅电阻温度系数的影响》PDF+DOC1990年第06期 石争,毛赣如
《压阻型地面气压传感器研制中的几个问题》PDF+DOC1985年第03期 杨经负
《单晶硅微压传感器的研制》PDF+DOC1979年第04期
《一种新型单晶硅SOI高温压力传感器》PDF+DOC2002年第04期 李育刚,姚素英,张生才,赵毅强,张为,张维新
《压阻式金刚石微压力传感器》PDF+DOC2001年第01期 莘海维,张志明,沈荷生,戴永兵,万永中
《单晶硅压力传感器温度漂移的补偿方法》PDF+DOC2006年第07期 王世清,姜彤,侯占民
具有单晶硅薄膜的标准压阻硅压力传感器通常在不到满量程10倍的压力下损坏,通过采用在薄膜正下方加上停止面,我们制造了具有500倍过量程保护的传感器.这些传感器完全由单晶硅采用硅键合技术形成.在低的压力下,芯片灵敏度高达3mv/m/psi,设计成在10psi时输出100mv的传感器在过压力达5000psi时仍不损坏,从而器件500倍过量程而无损坏。
提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。