作者：夏龙,周泓,汪文仙,王峰,周俊青 单位：安徽大学 出版：《安徽大学学报(自然科学版)》1992年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFAHDX1992020060 DOC编号：DOCAHDX1992020069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《硅压力传感器芯片的制造方法》PDF+DOC1983年第05期 梁增寿 《多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器》PDF+DOC2009年第09期 王健,揣荣岩,何晓宇,刘伟,张大为 《表面微机械加工的高长宽比矩形薄膜压力传感器》PDF+DOC2014年第02期 张艳敏,王权,李昕欣 《半导体压力传感器与微机的相接》PDF+DOC1998年第04期 《硅压力传感器的应力隔离封装》PDF+DOC1987年第Z1期 李东研,Per.A.Ohlckers,C.D.Fung,W.H.Ko 《剪切应力对压阻传感器灵敏度的影响》PDF+DOC1986年第05期 王言,鲍敏杭,晋琦 《压阻传感器原理及应用》PDF+DOC2004年第05期 白旭 《发动机燃烧室内的压力测试》PDF+DOC2002年第04期 侯美丽,刘小洋,张娟,刘永寿 《一种SOI高温压力传感器敏感芯片》PDF+DOC2014年第04期 王伟,梁庭,李赛男,洪应平,葛冰儿,郑庭丽,贾平岗,熊继军 《牺牲层结构压力传感器技术》PDF+DOC2009年第05期 揣荣岩,郑雁公,刘本伟,王文东,崔林,李新

    • 本文从理论和实践两个方面探讨医用压力传感器芯片制作工艺，旨在研究微机械加工工艺在医用压力传感器上的应用。

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