《CCT型硅集成流量、温度和真空度多功能传感器》PDF+DOC

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2. 《传感器技术的新发展——智能传感器和多功能传感器》PDF+DOC 智能传感器和多功能传感器是传感技术发展的方向。介绍智能传感器和多功能传感器的概念、功能、结构、特点以及它们的应用和发展趋势。...
3. 《智能传感器的现状与未来》PDF+DOC 本文以带微处理机的液位、压力传感器为例介绍了国外智能传感器的发展现状和未来。概述了硅对辐射、机械、温度、磁和化学等非电量的信号转换能力，说明了硅作为智能传感器材料的优越性。指出下个年代将有大量的成熟的智能传感器问世。...
4. 《压阻式集成压力传感器》PDF+DOC 一、引言在许多新的领域里，微机控制的仪器仪表和系统被广泛应用。这些系统一般由一个或多个传感器构成，传感器的低电平输出信号先要通过信号调节电路放大，再传送到远距离的微机去处理或控制。硅传感器技术的发展，已能将传感器和信号调节电路合并在一起，成为一个集成传感器。硅压阻式集成压力传感器由Bicking设计......
5. 《压阻集成化的压力传感器》PDF+DOC 一、前言在很多新的领域里，已经出现了应用微型计算机的仪表和装置，这些装置一般都有一个或多个传感器，其低电平输出信号，在传输给远处的微型计算机之前，通过信号调整电路被放大。随着硅传感器工艺的进步，现在正在使传感器、信号调整电路做成一体的集成化传感器。...
6. 《硅压阻式传感器的温度特性及其补偿》PDF+DOC 基于硅压阻式传感器的工艺过程与后续电路设计 ，讨论了减小其温度影响的措施。文中对在相同的硅基底上 ，采用诸如扩散、离子注入、薄膜淀积以及溅射等不同加工工艺制作实现的不同的压敏电阻特性 ，特别是温度特性进行了探讨和比较。针对一种具体的硅杯结构的压阻式传感器 ，设计、选择了加工工艺 ，给出了压敏电阻的近......
7. 《镍薄膜电阻作为多功能传感器的温度敏感元件》PDF+DOC 为解决铝薄膜和银薄膜电阻率小、热敏电阻灵敏度低、耐腐蚀性差、工作温度低等问题 ，提出镍薄膜电阻可以作为温度敏感元件集成在压力传感器上 .对镍薄膜热敏电阻的制备方法、温度敏感特性进行了分析与实验研究 ，并将其集成在耐高温压力传感器上 ，对制备的压力 -温度多功能传感器进行了测试 .结果表明传感器可在室......
8. 《温度补偿式光纤光栅土压力传感器》PDF+DOC 针对现有土压力传感器无法实现长期、实时监测的要求，设计了温度补偿式光纤光栅土压力传感器。选用有硬中心的平膜片作弹性元件，选用灵敏度高、体积小、质量轻、易于波分复用和组成传感网络的光纤光栅作敏感元件；同时采用了不受力光栅法进行了温度补偿。经实验测试，该传感器的灵敏度为1.5 nm/M Pa；线性度误差......
9. 《基于单晶硅的压阻效应的超小型压力传感器》PDF+DOC 利用单晶硅的压阻效应原理，采用先进的半导体平面工艺、微机械加工工艺、温度补偿及固态集成工艺研制了一种超小型压力传感器。该传感器采用敏感元件与信号处理电路一体化结构，产品在制作过程中经过严格的工艺检验和环境性能试验。证明具有体积小、精度高、稳定性好、测量范围宽等特点，可以广泛用于石油、冶金、化工、航空......
10. 《光纤电压传感器温度特性的研究》PDF+DOC 以半波电压较高的石英晶体为敏感材料 ，分析了光纤电压传感器全量程的温度特性 ，发现其与传感器所测电压值相关 ：随着待测电压的从小往大增加 ，其输出温度变化的灵敏度逐渐由小变大。为了实现电压传感器全量程的温度补偿 ，必须获取两个关键的参数 ：一为电压传感器在无外加电压作用下的温度输出响应参数 ；二为敏......