作者：黄庆安 单位：东南大学 出版：《电子器件》1990年第02期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ1990020100 DOC编号：DOCDZQJ1990020109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《高温压力传感器的研究现状与发展趋势》PDF+DOC2016年第06期 何文涛,李艳华,邹江波,张世名,赵和平,金小锋,杨龙 《压阻型压力传感器的零点温漂及其补偿技术》PDF+DOC1999年第04期 孙以材,魏占永,孙新宇,高振斌,刘惠丽 《国外压力传感器市场及新产品动向(二)》PDF+DOC1992年第05期 孟涛,陆广振 《CMOS集成硅压力传感器》PDF+DOC1989年第01期 T.Ishihara,何大安 《可在高温条件下工作的压力传感器》PDF+DOC1987年第03期 秦秋石,刘通 《文摘》PDF+DOC1982年第03期 《压阻集成化的压力传感器》PDF+DOC1984年第06期 KazuJl Y mada,王化成 《文摘》PDF+DOC1984年第02期 《多晶硅压力传感器热灵敏度漂移补偿技术》PDF+DOC2003年第05期 罗秦川,张生才,姚素英,张为,曲宏伟 《SOI高温压力传感器的研究》PDF+DOC2006年第04期 张书玉,张维连,索开南,牛新环,张生才,姚素英

    • 硅压阻应变计已广泛应用，尤其是对压力传感器.我们从最常用的工艺比较知道，到目前为止，它们之中没有一个成功地得到所有所需的量(表1).感谢SIMOX工艺，它使得在同一传感器上同时得到所有的优点。

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