作者：骆如枋 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1990年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1990040020 DOC编号：DOCCGJS1990040029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文通过对多孔Al_2O_3薄膜的显微结构形貌和晶相组成的跟踪检测，观察了多孔Al_2O_3薄膜几何结构和晶相的经时变化.对其原因进行了探讨，从而对多孔Al_2O_3电容式湿度传感器响应的长期漂移机理进行了详细讨论，并指出了克服或改善这类湿度传感器漂移的方向。

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