作者:孔令兵,武明堂 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》1993年第04期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ1993040020 DOC编号:DOCCGQJ1993040029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 叙述了声表面波的有关概念。介绍了声表面波湿度传感器的工作原理及器件制作,并对这种新型湿度传感器的性能及有关问题作了讨论。

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