作者：河井正安 ,深田治男 ,赵秀英 单位：中国电子科技集团公司第48研究所 出版：《微细加工技术》1992年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXJS1992010140 DOC编号：DOCWXJS1992010149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 利用溅射使材料薄膜化的技术在电子器件以及其它方面得到了迅速的发展。这是因为薄膜具有和体材料不同的性质，利用这种性质就有可能得到以前技术不能得到的器件。溅射薄膜应变式压力传感器就是正在开发中的这类器件中的一种。这种溅射薄膜应变式传感器是利用通过溅射在产生应变的梁和膜片等上面直接形成薄膜。它的组成材料全部是无机物，厚度非常薄，是原来的箔式应变片的1/10，而且有耐热性好和形状规则等许多优点。

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