《对称岛膜结构线性硅电容压力传感器设计》PDF+DOC
作者:李昕欣,陈宏,鲍敏杭
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》1993年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS1993040000
DOC编号:DOCYBJS1993040009
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本文介绍了一种新型的方岛膜压力敏感电容结构,结合适当的接口技术可实现良好的线性化输出。
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