《用表面微机械加工技术制成的流速传感器》PDF+DOC

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2. 《压力传感器温度漂移补偿的一种新方法》PDF+DOC 提出了一种用于压力传感器的温度漂移补偿新方法。该压力传感器中包含了两个灵敏度不同的敏感电桥，它们被制作于同一芯片不同厚度的膜片上。所采用的一种电阻设置新形式，可有效节省芯片面积。通过双桥间的互补，同时消除了压力传感器的热零点漂移和热灵敏度漂移，文中给出了温度漂移补偿的具体算法及相应的实验结果。...
3. 《负反馈电桥在电阻传感器线性化中的应用》PDF+DOC 本文介绍利用信号流图及梅森公式分析设计负反馈电桥电路，以及在电阻传感器测量线性化中的应用。...
4. 《电阻传感器的线性化电路》PDF+DOC 本文介绍了负反馈电桥在电阻传感器测量中的应用；说明了转换电路的输出与电阻的变化成线性关系；并提出采用信号流图法直接应用梅森公式求解传递函数，避免了运用繁琐的行列式求解。利用该电路在电阻应变计(片)和热敏电阻的测量中取得了很好的效果。是一个性能优良的线性化电路。...
5. 《汽车用陶瓷传感器(上)》PDF+DOC 汽车用陶瓷传感器具有多种功能，使用的材料也各式各样。本文介绍了温度传感器、气体传感器、湿度传感器、利用压电性能的传感器、Si压力传感器等几种陶瓷传感器的构造、原理、特性。...
6. 《关于发展我国传感器技术的几点看法》PDF+DOC 一、我国传感器技术现状及存在的问题我国传感器的研制和生产，始于五十年代初期，当时主要以仿制苏联的机械式或机电式传感器为主。五十年代末出现了第一只半导体热敏电阻，随后又研制出硒光电池。六十年代先后试制了应变计、霍尔元件、离...
7. 《一种硅/二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器》PDF+DOC 利用 IC工艺和微机械加工技术制作了一种硅 /二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器。基于硅和二氧化硅两种材料热膨胀系数的差异 ，不同温度下梁的挠度不同 ，其形变可通过位于梁根部的压敏电桥检测。理论计算和实验结果表明 ：压敏电桥输出电压与温度成线性关系。对器件结构进行了优化设计 ，实验探索了提高传感器测量重......
8. 《多晶硅压力传感器热灵敏度漂移补偿技术》PDF+DOC 列举了几种多晶硅高温压力传感器的热灵敏度漂移补偿方法，并分别讨论了它们的原理及特点。对采用多晶硅热敏电阻器进行补偿的两种补偿方法进行了详细地分析和测试。实验表明，这两种补偿法更适用于多晶硅压力传感器。...
9. 《镍薄膜电阻作为多功能传感器的温度敏感元件》PDF+DOC 为解决铝薄膜和银薄膜电阻率小、热敏电阻灵敏度低、耐腐蚀性差、工作温度低等问题 ，提出镍薄膜电阻可以作为温度敏感元件集成在压力传感器上 .对镍薄膜热敏电阻的制备方法、温度敏感特性进行了分析与实验研究 ，并将其集成在耐高温压力传感器上 ，对制备的压力 -温度多功能传感器进行了测试 .结果表明传感器可在室......
10. 《基于聚酰亚胺基底的热线式剪切应力传感器》PDF+DOC 利用非硅微机械加工技术，制作了一种柔性热线式剪切应力微传感器。该传感器以聚酰亚胺膜为基底，可与被测曲面物体紧密贴合，具有较好的测量适应性和准确性。传感器采用线性度好、温度系数较高的铂金属制作敏感热线。为减少对被测流场的干扰且便于传感器的信号传输，传感器使用了背面引线结构。设计了恒温工作模式的传感器检......