《铜薄膜电阻温度传感器的研制》PDF+DOC
作者:李光云,陈佩娴,杨年光,张振昭,曾广兴
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》1993年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS1993040040
DOC编号:DOCYBJS1993040049
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本文分析了铜膜电阻温度传感器的工作原理,介绍了光刻掩模板的图形设计和制造工艺,并对实验结果进行了讨论。
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