作者:李光云,陈佩娴,杨年光,张振昭,曾广兴 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》1993年第04期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS1993040040 DOC编号:DOCYBJS1993040049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 本文分析了铜膜电阻温度传感器的工作原理,介绍了光刻掩模板的图形设计和制造工艺,并对实验结果进行了讨论。

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