作者：牟军 单位：北京长城航空测控技术研究所 出版：《测控技术》1991年第01期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFIKJS1991010170 DOC编号：DOCIKJS1991010179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 典型的具有单晶硅膜片的普通硅压阻式压力传感器，通常压力要限定在远小于10倍满量程压力以下。而我们制造了一批传感器，它在膜片下使用一个静止的表面，可使传感器耐受了大于500倍以上的满量程压力。这些传感器采用单晶硅材料，用烧结工艺制成。在低压下硅芯片的灵敏度可高达3mV/V&#183；psi(3mV/V&#183；6.89kPa≈0.435mV/V&#183；1kPa)。已设计出在10psi压力下输出为100mV的传感器，能耐受住5000psi

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