作者：孙彦卿,石广元 单位：辽宁大学 出版：《辽宁大学学报(自然科学版)》1993年第01期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFLNDZ1993010080 DOC编号：DOCLNDZ1993010089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文评述微传感器和微执行器的发展。

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