作者：钱振型,倪星元 单位：中国硅酸盐学会;中材人工晶体研究院 出版：《硅酸盐通报》1992年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGSYT1992040080 DOC编号：DOCGSYT1992040089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文对薄膜换能器和传感器的现况作了扼要的评述.介绍了SiC热敏电阻，SnO_2气敏电阻、PLT热释电红外探测器和ZnO压电换能器等薄膜器件的原理、结构、性能和应用情形等. 薄膜传感器和换能器具有体积小，比表面积大，省料和便于集成化等优点.现在，有些薄膜传感器和换能器已很成熟并已付诸实用.但是，多数薄膜器件还都在研制中. 近年来，薄膜科学和技术发展很快.薄膜传感器和换能器今后必将大有发展，但当前尚有许多问题有待解决。

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