《具有频率输出的硅压力传感器》PDF+DOC
作者:吴原
单位:东南大学
出版:《电子器件》1990年第02期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZQJ1990020140
DOC编号:DOCDZQJ1990020149
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本工作提出的具有频率输出的硅压力传感器是建立在CMOS环形振荡器基础上的,该环形振荡器是放置在传感器芯片的薄膜上的.由于压力压阻效应,施加的压力在薄膜上产生的机械应力改变了环形振荡器中MOSFET载流子的迁移率,从而MOSFET的漏电流及相应的环振频率成为压力的函数。
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