作者：J.A.Dziuban,范仁春 单位：中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心 出版：《中国检验检测》1993年第02期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDJL1993020120 DOC编号：DOCXDJL1993020129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 1.前言虽然已有文献描述了多种形式的硅压力传感器，且其中一些已经大量生产，但新型的压力传感器仍在开发，其中尤以硅光纤压力传感器扮演了重要的角色。一种薄硅薄有良好的机械性能，当加上气压或液压时可以重复弯曲，薄的位移可以通过图1所示的光强测量系统来测定。

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