作者：F.R.Blom,王永忠,孙海涛 单位：中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心 出版：《中国检验检测》1990年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDJL1990040120 DOC编号：DOCXDJL1990040129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 1.前言文献中经常介绍谐振梁力传感器的原理。例如振弦式传感器，双端音叉石英谐振器。这类发展中的传感器使用了硅机械材料和作为激励与检测的 ZnO 压电薄膜材料。该传感器的工作原理与报告过的谐振薄膜压力传感器相同。

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