《一种用石英多晶材料作为弹性元件的应变式压办传感器》PDF+DOC
作者:葛红娟,钱俞寿
单位:南京航空航天大学
出版:《南京航空航天大学学报》1990年第02期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFNJHK1990020230
DOC编号:DOCNJHK1990020239
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本文介绍了一种新的应变式压力传感器,它利用石英多晶作为弹性元件,用阴极溅射法制成应变电阻。本文对传感器的结构设计、制作工艺都做了较详细的探讨和研究,并制成一个传感器样品,对其作了一系列性能测试。
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