《新型扩散硅低压传感器》PDF+DOC

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2. 《新型多晶硅压力传感器》PDF+DOC 论述了一种新型多晶硅压力传感器．它采用矩形双岛硅膜结构，多晶硅作应变电阻，二氧化硅介质膜作隔离，用集成电路工艺和微机械加工技术制作．因而，传感器具有灵敏度高和工作温度高等特点．利用有限元法对双岛结构的应力分布进行了模拟计算，实验结果与理论分析一致．...
3. 《一种多晶硅高温压力传感器》PDF+DOC 制作压力传感器时，在二氧化硅层上淀积多晶硅膜，既可利用硅优良的机械特性，又可保证压敏电阻与衬底间具有良好的绝缘性，由此可大大提高器件的温度特性。介绍了一种多晶硅压力传感器的原理和设计。实验结果表明，这类传感器具有灵敏度好、精度高等特点，电路工作范围为０～２５０&#176；Ｃ，且具有良好的温度......
4. 《高精度扩散硅压力传感器的温度补偿》PDF+DOC 本文分析了扩散硅压力传感器的零点、零位温度系数及灵敏度温度系数三个基本参数并给出了温度补偿的计算公式。理论及实践均表明：采用此种方法补偿扩散硅压力传感器能满足高精度压力测量的要求。...
5. 《多晶硅压力传感器》PDF+DOC 研制一种多晶硅压力传感器．它采用一氧化硅介质膜隔离代替ｐ－ｎ结隔离，提高了工作温度；通过控制掺杂浓度，改善了温度特性．实验表明，该传感器灵敏度高，工作温限高，温度漂移小．...
6. 《多晶力敏元件热稳定性分析》PDF+DOC 本文通过对单晶硅、多晶硅力敏元件复合结构的对比分析，及优化多晶生长条件的选择探讨研制高稳定的多晶力敏元件的理论根据...
7. 《压阻式医用导管端微型压力传感器》PDF+DOC 本文探讨了对压阻式导管端压力传感器微型化起限制作用的一些因素.根据(100)硅各向异性腐蚀的特点和矩形硅膜上的应力分布曲线，分析了硅片厚度和力敏电阻区尺寸对传感器压力灵敏度的影响.介绍了一种微型化的压阻式医用导管端压力传感器的设计、制造工艺和钝化与封装技术.该传感器芯片尺寸为1mm&#215......
8. 《江苏雷声电子设备厂传感器事业部》PDF+DOC 江苏雷声电子设备厂(原国营江宁机械厂)，隶属于中国船舶工业总公司，是1958年国家重点建设的电子声学和机械综合性科研生产企业，研制和生产各种传感器件、医用超声仪器、压电陶瓷材料及纺织电子设备等产品，在国内外均享有盛誉。...
9. 《单块集成压阻式压力传感器》PDF+DOC 本文介绍一种由力敏电阻全桥和温度补偿的放大器电路构成的集成压力传感器。通过理论分析得到了(100)矩形硅膜的尺寸以及力敏电阻位置和尺寸的最佳化设计。通过对全电路温度系数的分析计算，找到了最佳的工作条件。该设计已由双极集成电路工艺和各向异性化学腐蚀工艺实现，制成了灵敏度达到1000μV/mmHg的集成......
10. 《微泵硅膜振动拾振传感器的设计》PDF+DOC 设计了一种微泵硅膜振动拾振传感器.该传感器采用了非对称基区梳状温度补偿晶体管，并提出了恰当设计SiO2膜和Al膜的厚度对零点温度漂移有极小值是非常重要的.实验结果表明，本文设计的微泵硅膜振动拾振传感器结构合理并且适合各种硅微泵、具有温度补偿功能，在-10℃-50℃的范围内，灵敏度的温度系数为0.2%......