作者：樊尚春,刘广玉 单位：北京航空航天大学 出版：《北京航空航天大学学报》1992年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBJHK1992020070 DOC编号：DOCBJHK1992020079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 阐述了频率输出的新型谐振传感器的发展方向之一——微型化。评价性地论述了热激励硅谐振压力传感器和热激励谐振膜质量流量传感器。重点讨论了热激励的原理，特点等。指出我国应对传感器的这一发展趋势给予足够的重视。

    📙 相关资料

    1. 《一种双功能谐振传感器——谐振式质量流量/密度传感器》PDF+DOC 详细地讨论了一种双功能谐振式质量流量/密度传感器的测量原理，为我国迅速研制成这种新型的谐振传感器提供了一定的理论依据。...
    2. 《关于谐振式硅微结构压力传感器的综合研究》PDF+DOC 谐振式硅微结构压力传感器以其高精度和高稳定性成为多领域测试压力时的首选传感器。本文对近三十年间国内国外对谐振式硅微结构压力传感器的相关研究进行综述，简介其原理与类别，具体分析两种不同芯体的传感器的研究概况，并对芯体不同传感器的激励方式和检测方式进行对比，分析各自的特点，最后展望谐振式硅微结构压力传感......
    3. 《硅微机械谐振压力传感器技术的发展》PDF+DOC 现阶段，硅微机械谐振压力传感器应该是稳定性最好及精确度最高的传感器，在航空航天及工业等领域内广泛应用。按照硅微机械谐振压力传感器目前研究成果，对硅微机械谐振压力传感器工作原理进行阐述，分析不同类别硅微机械谐振压力传感器芯体结构，对硅微机械谐振压力传感器未来发展方向进行分析，希望能够增加对硅微机械谐振......
    4. 《热激励谐振式硅微结构压力传感器闭环系统》PDF+DOC 讨论了一种热激励谐振式硅微结构压力传感器闭环系统。该谐振式硅微结构压力传感器以方形硅膜片作为一次敏感元件 ；硅梁作为二次敏感元件。在硅梁谐振子的中部设置一电阻 ，作为热激励单元 ；在梁的根部设置一压敏电阻 ，作为拾振单元。基于该谐振式硅微结构压力传感器敏感机理 ，分析了信号的相互转换 ，给出了传感器......
    5. 《复合材料方形膜的压力频率特性》PDF+DOC 基于一种典型的微结构硅谐振压力传感器由多层不同材料构成的谐振子的实际结构特点，建立了被测压力与谐振子静挠度、谐振子固有频率的数学模型．计算和分析了谐振子的振动特性，给出了各复合材料层的几何参数、物理参数对其振动特性的影响规律．揭示了复合材料方形膜的压力频率特性，为设计该类谐振子提供了理论依据．...
    6. 《谐振式压力传感器的新进展》PDF+DOC 本文介绍了近几年谐振式压力传感器的新成果和发展趋势。...
    7. 《在膜片上集成谐振应变仪三维微加工成硅压力传感器》PDF+DOC 引言谐振传感器利用了物理因素能够改变谐振频率的现象。谐振传感器与其它传感器相比具有优良的特性。例如高的重复性、分辨率和灵敏度。此外，谐振传感器因为它们输出频率而适于把信号传送到计算机。...
    8. 《基于硅谐振压力传感器的大气数据系统的实现》PDF+DOC 详细介绍了Druck RPT 200型硅谐振压力传感器的工作原理，阐述了大气数据系统的结构、建模及硬件实现等研制过程；该系统采用Druck RPT 200型硅谐振压力传感器替代原振动筒式压力传感器测量压力，并采用小型单板计算机作为大气数据系统的嵌入式计算机，实现高度、空速和马赫数等参数的计算，并由显......
    9. 《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC 针对一种以矩形硅膜片为一次敏感元件、硅梁谐振子为二次敏感元件采用电阻热激励、压敏电阻拾振的谐振式压力微传感器 ，简述了其工作机理 ；从谐振式硅微传感器整体优化设计、闭环系统优化设计、微弱信号检测、敏感元件工艺实践、开环特性测试等方面介绍了该传感器研究与研制过程中近期取得的阶段性研究结果...
    10. 《谐振式硅微结构压力传感器非线性振动特性研究》PDF+DOC 本文研究了谐振式硅微结构压力传感器在单频激励和双频激励情况下的非线性振动特性。利用多尺度法研究运动方程中三次非线性项对传感器频率特性的影响规律，提出了改善谐振式硅微结构传感器特性的方法以及在实现闭环自激系统时应采取的措施。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。