作者：冯耀兰,童勤义,黄金彪,刘方悟,骆志强 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1991年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1991020030 DOC编号：DOCCGJS1991020039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《全集成式流量传感器》PDF+DOC1987年第Z1期 黄金彪,童勤义,陈德英,刘方悟,方家云,李斌,周明 《CMOS集成硅流量传感器》PDF+DOC1987年第01期 童勤义,黄金彪 《液体流量仪表的发展现状及研究方向》PDF+DOC1996年第04期 段铁群,王香文 《脉宽调制输出的集成真空度传感器》PDF+DOC1992年第03期 黄金彪,童勤义,唐国洪,陈德英 《热导式硅流量传感器温度性能的研究》PDF+DOC1991年第04期 冯耀兰,陈艳,刘方悟,黄金彪,童勤义 《数字巡回测控温仪的研制》PDF+DOC1988年第04期 陈建国 《FSL1000系列MEMS微量液体流量》PDF+DOC2009年第07期 《基于热敏电阻的热式液体流量传感器》PDF+DOC2014年第09期 高振斌,潘星,田丰,张晖 《TWH9205功率型开关集成电路的原理及应用》PDF+DOC2001年第02期 孟建新,宋宝强 《基于集成技术的智能液压传感器》PDF+DOC2004年第05期 鲁冬林,李永新,谭业发

    • 本文介绍了硅集成液体流量传感器的结构、工作原理和新颖的背面敏感封装技术。理论和实验结果表明，这种传感器具有很高的灵敏度，特别适合于液体小流量的测量。

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