作者：何野,孙敏 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1991年第04期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1991040000 DOC编号：DOCCGQJ1991040009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文讨论了描述半导体微传感器物理效应的基本模型方程，建立了常见半导体微传感器的初级数值模型库，该模型库可用于微传感器的计算机辅助分析与设计。

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