《高可靠SOS固态压力传感器》PDF+DOC
作者:陈庆贵,史日华,滕征杰,许和平
单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
出版:《半导体技术》1990年第04期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTJ1990040070
DOC编号:DOCBDTJ1990040079
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本文报导了高可靠SOS压力传感器研制的实验结果,特别是可靠性试验方法和应用效果。所得传感器的主要性能为:量程0~20MPa,工作温度-55°;~300℃,精度0.2~0.5%,满度输出100±;20mV,平均寿命(MTTF)≥1×;10~6次。
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