作者：林有义,陈振富,伊立言 单位：中国光学学会;中国科学院上海光学精密机械研究所 出版：《中国激光》1992年第07期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJJZZ1992070070 DOC编号：DOCJJZZ1992070079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍了利用激光-CCD微位移传感器测振的原理和方法。这种测量技术适用于检测较大的振幅值(&gt；60/Am)。在60～800/bm范围内，最大绝对误差&lt；10灿m，相对误差&lt；6％。

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