《高性能可变电容式加速度计》PDF+DOC
作者:L.Bruce WiIoer,梁永
单位:中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心
出版:《中国检验检测》1990年第01期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFXDJL1990010190
DOC编号:DOCXDJL1990010199
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1.前言做为加速度计基础的可变电容式加速度传感器已经研制成功。这种传感器包括一个中平面支承、一个气体阻尼器以及超量程的阻挡器。它通过硅中的玻璃插入物用阳极粘合法组装在一起。用这种方法做成的传感器虽然比较复杂,但它的性能好。在可变间隙电容传感器中,初始电容和灵
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