作者：Goran Stemme,严京 单位：中国航天科技集团公司第七O四研究所 出版：《遥测遥控》1990年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYCYK1990020100 DOC编号：DOCYCYK1990020109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 现已研制成功一种具有脉冲调制输出的单片集成热式气体流量传感器，其输出脉冲宽度比和流速有关。制造这种传感器时，除使用EDP各向异性刻蚀剂制作传感器外形之外，其余均采用标准的CMOS工艺。传感器的加热部分和非加热部分之间用聚酰亚胺隔热。传感器具有内部气体温度补偿装置。在2～30m/s流速范围内，传感器的灵敏度为0.03m/s。按传感器的设计。本传感器也适合于双线式结构形式

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