《声表面波气体传感器》PDF+DOC
作者:刘镇清
单位:中国仪器仪表学会
出版:《化学传感器》1992年第04期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHXCH1992040020
DOC编号:DOCHXCH1992040029
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在化学研究领域,声表面波器件得到了越来越多的注目.声表面波延迟线振荡器的振荡频率对沉积在其表面的薄膜层非常敏感,选择适当的气体吸附材料涂覆在器件的表面,声表面波延迟线振荡器就可用于制成十分敏感的气体传感器。当涂覆层性能优良时,传感器可检测出浓度为0.01—0.1ppm水平的特定气体成份。
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