作者：孙海涛 单位：北京京仪仪器仪表研究总院有限公司 出版：《仪器仪表与分析监测》1992年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQYB1992030130 DOC编号：DOCYQYB1992030139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 1.引言 1983年以来在Twente大学就有关硅谐振结构进行了研究。这些结构的一个应用是谐振梁力传感器。这些传感器可作为微型机械传感器或电子精密微量仪一类的一种谐振应变仪，在没有力转换机构下通常有范围1N和100ppm或更好的分辨率。整个传感器的设计如图1。为了确保安全的使用，传感器梁用原片厚度的两个梁支撑。在传感器梁上制做了一种多层结构以便利用ZnO层的压电效应电激励和检测传感器梁的振动。底电极是一种高掺杂硼(P~(++)-)的硅层而顶电极是一个铝层。

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