作者：易惠中 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1991年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1991010080 DOC编号：DOCCGJS1991010089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 1 概述 MOS气敏传感器是在含氧丰富的空气中使用的，在MOS表面存在吸附氧。温度不同，MOS表面吸附氧的形态也不同。例如，SnO_2表面的吸附氧有三种形态：常温～150℃吸脱附的α氧(O_2、O_2~-)，400～500℃分解的化学吸附β氧(O~-)以及晶格中的离子氧(O~(2-))，构成升温脱附谱。 β氧的脱附将导致电导变化二个数量级；β氧与还原性气体反应，将得到还原性特强的产物，将电子释放给导带，让气体产物脱附：

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