作者：白韶红 单位：天津市工业自动化仪表研究所;天津市自动化学会 出版：《自动化与仪表》1991年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDHY1991020030 DOC编号：DOCZDHY1991020039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 1 概述表面声波(SAW)现象是瑞利(Rayleigh)于1885年发现的，但具有实用价值的 SAW 器件的出现是近一、二十年的事。SAW 器件发展很快，应用广泛。例如，它作为电子器件，可实现信号的延迟、滤波、振荡和编码多种功能。在传感器领域内，它首先被用作化学蒸汽传感器，以检测 CO、CO_2、NO_2、ZH_3、H_2O、H_2S、SO_2和 H_2等气体。第一个化学气体传感器出现在1979年。近年逐步发展起来多种物理量传感器，最早的压力传感器出现在1975年。最近出现了兰姆波传感器。这些传感器有的已进入实用阶段。

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