作者：汪怀峰 单位：东南大学 出版：《电子器件》1990年第01期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ1990010150 DOC编号：DOCDZQJ1990010159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 制作了硅衬底SnO_2薄膜气体传感器用于监测麻醉剂，如forane，安氟醚，氟烷和乙醚.这些都是医院手术室常用的.SnO_2敏感膜通过旋涂溶于二甲笨中的Sn(Ⅱ)—二乙酸乙酯然后热处理来沉积在硅上.硅膜上有一个扩散电阻加热器和一个用作温度敏感和控制的P—

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