《微型低压传感器的研究》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《MEMS压力传感器介绍》PDF+DOC MEMS器件具有重量轻、体积小、功耗低等优点，可以很好地满足各种电子设备的要求，将MEMS的微型传感器用于检测相关参数的功能，已经成为各个领域发展的主要方向之一。与传统的传感器相比，微型传感器具有许多新特性，它能够弥补传统传感器的不足，具有广泛的应用前景。文中详细绍了MEMS压力传感器件的结构、原理......
2. 《一种多晶硅高温压力传感器》PDF+DOC 制作压力传感器时，在二氧化硅层上淀积多晶硅膜，既可利用硅优良的机械特性，又可保证压敏电阻与衬底间具有良好的绝缘性，由此可大大提高器件的温度特性。介绍了一种多晶硅压力传感器的原理和设计。实验结果表明，这类传感器具有灵敏度好、精度高等特点，电路工作范围为０～２５０&#176；Ｃ，且具有良好的温度......
3. 《微型多晶硅膜电容式压力传感器的研制》PDF+DOC 目前使用较为广泛的扩散硅压阻式压力传感器，是利用半导体硅的电阻率随应力变化的性质而制成的.由于电阻器间的PN结隔离，使这种传感器温度稳定性较差，应用时...
4. 《石墨烯新型传感器效能更胜传统触控》PDF+DOC 目前，大多数的晶体管制造都采用硅信道以及基于硅氧化物的电介质。然而，这些晶体管通常不是缺乏透明度就是不够灵活，因而可能成为制造高整合的压力传感器数组与透明压力传感器时的一大阻碍。UNIST的研究人员开发的这种新型的数组技术十分具...
5. 《法布里-珀罗干涉仪的发展与应用》PDF+DOC 本文介绍了采用微机械加工技术制成的法布里-珀罗干涉仪的原理、结构、特性和应用。...
6. 《半导体压力/差压变送器发展动向》PDF+DOC 本文介绍了国内外压力/差压变送器的发展动向。文中详细介绍了各类三膜片式差压变送器的结构和工作原理。由于IC技术的迅速发展，压力/差压变送器将进一步集成化、智能化，本文对这方面的研究现状也作了简要的阐述。...
7. 《压力传感器》PDF+DOC 专利申请范围这种传感器是由在壳体内壁形成的内腔中安装一个膜片组合件所组成。该组合件是用静电法把对应变敏感的硅膜片焊在与其有大体相同温度系数、带有轴线孔的玻璃支座上。硅膜片沿边缘焊在玻璃支座的一端，使两者成为一体。发明的详细说明此发明是关于利用在硅膜片上形成的压阻应变计测量压力的一种压力传感器。更具体......
8. 《文摘》PDF+DOC 本文介绍了采用硅集成电路技术研制成的能批量生产的固体电容式压力传感器。该传感器的动态压力范围为350mmHg，压力灵敏度约为1100ppm/mmHg，零位压力补偿温度系数约为+50ppm/℃，压力灵敏度温度系数为-20～+50C，温度间距约为+275ppm/℃。传感器采用的是开口腔或真空密封参考腔。......
9. 《基于MEMS技术的微型传感器》PDF+DOC 和传统的传感器相比，微型传感器具有许多新特性，它们能够弥补传统传感器的不足，具有广泛的应用前景，越来越受到重视。文中详细介绍了一些微型传感器件的结构和原理，说明了微型传感器的基本性能特点和微型传感器的发展趋势。...
10. 《不同粒径和埋厚的煤粉对土压力计的影响》PDF+DOC 利用传感器技术监测尾矿库等地质灾害是一种有效的方法，因此测量压力的精度就显得十分重要。而土压力计是测量压力最常见的传感器，它的测量值会受到如温度、周边材料、压力计的刚性与尺寸等因素的影响。本文以不同粒径的煤粉为对象，聚焦在煤粉层厚度和颗粒大小对土压力计响应时间的影响，探讨不同厚度、不同粒径煤粉对土压......