《薄淀积膜压阻系数π∥π⊥测量》PDF+DOC

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2. 《多晶硅高温压力传感器》PDF+DOC 一、前言 现代航空、汽车发动机以及石油化工领域常常需要对200℃以上高温范围的压力进行检测。200℃以上温度工作的高温压力传感器一般可采用SOS或绝缘衬底上多晶硅结构制作，因为多晶硅薄膜压阻元件可淀积在各种低成本衬底上，而且工艺简...
3. 《高温压力传感器的力敏电阻条的制备》PDF+DOC 本文探讨了一种金属薄膜高温压力传感器的力敏电阻条的制作方法，采用氮化铝作铜衬底和金属力敏电阻条之间的电绝缘层，利用铜金属在高温条件下也能够表现出压阻特性，制作力敏电阻条。通过直流磁控溅射制作力敏电阻条，并引线，封装，进行测试，最后反应出随压力的变化电阻的变化关系。...
4. 《半导体压力传感器与微机的相接》PDF+DOC 大部分流行的硅压力传感器都是压阻桥，根据加到薄硅膜片上的压力产生一个差分输出电压。这些传感器的输出电压一般是满度２５～５０ｍＶ。因此，连接到微机一般涉及到放大较小的输出电压，完成差分到单端的变换，并把模拟信号换算成适合模／数转换的量程。另外，模拟压力..。...
5. 《微机械梁-膜结构的压力传感器》PDF+DOC 本文提出了一种用于压阻压力传感器中的微机械梁膜结构.这种结构除有灵敏度高、线性好等优点外，还有其他优良性能，而工艺要求又较已有的各种结构为低.有限元素法的应力分析和实验结果证明了这种结构的优良性能。...
6. 《多晶硅薄膜压阻器件》PDF+DOC 利用半导体压阻效应的压力传感器，由于信息处理技术的进步，正面向高精度、高灵敏、高可靠、低成本发展。其主流是用单晶硅制造的扩散型压力传感器。但最近，使用不同的材料作衬底，通过SiO_2等做绝缘，在其上沉积多晶硅薄膜的SOI结构的压力传感器由于可望制低成本耐高温及抗腐蚀性强的压力传感器...
7. 《剪切应力对压阻传感器灵敏度的影响》PDF+DOC 本文从理论上和实验上对剪切应力对力敏电阻的压阻灵敏度影响进行了研究.在本文的分析中，取消了已往工作中对力敏电阻设计的取向限制，在计入剪切应力项作用的情况下，得到了(100)、(110)，(111)圆硅膜和(100)方膜和长方膜上力敏电阻的压阻灵敏度表式.结果的解析形式及其曲线图示表明，在一般情况下，......
8. 《提高半导体压力传感器测量精度的有效措施》PDF+DOC 一、引言日本日立制作所从事半导体压力传感器的研制工作已经多年，它所研制的应变仪式传感器(SG传感器)是一种硅膜片式传感器。自1978年出售以来，几经改进，精度大有提高。通过应变仪的合理配置，可将非线性误差限制在最小范围之内，精度可高达&#177；0.2％以上。但在下面两种情况下非线性误差的影......
9. 《硅压力传感器芯片的制造方法》PDF+DOC 前言硅压力传感器的机芯是利用硅材料的压阻特性制作的力敏器件。它具有灵敏度高、精度高、动态响应快、稳定性好、易于小型化、使用方便、可靠性好等特点，因而得到了广泛的应用。目前，由于科学技术的发展，对元件的稳定性及可靠性提出了更高的要求，还要求提高成品串和降低成本。因而，国内外都在进行大量的研究和试制工作......
10. 《多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器》PDF+DOC 多晶硅纳米薄膜具有优越的应变灵敏特性和稳定的温度特性。为了使这种良好的压阻特性得到实际应用，文中给出了多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器的设计方法。根据多晶硅纳米薄膜压阻特性和硅杯腐蚀技术条件确定弹性膜片结构，并采用有限元分析方法对弹性膜片尺寸以及应变电阻分布进行了优化。依据优化设计结果试制了压力传感器......