作者：夏建弘 单位：中国机械工业集团公司;沈阳真空技术研究所 出版：《真空》1990年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKZK1990030060 DOC编号：DOCZKZK1990030069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文给出了用硅平面工艺和微加工工艺制造的漂浮膜真空传感器。传感器的测量上 限为１０ ｋＰａ，分辨率为１０ｍＰａ。传感器的特性和物理模型推出的公式很一致，误差 为２％。

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