《离子束溅射生成气敏膜的研究》PDF+DOC
作者:胡兴定,陈俊,张通和,张文朴
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》1995年第06期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS1995060040
DOC编号:DOCYBJS1995060049
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本文对离子束溅射生成气敏膜作了研究.与烧结陶瓷气敏传感器比较,溅射生成气敏膜对乙醇气体具有灵敏度高,长期稳定,对其它气体选择性好,而且响应恢复时间快.采用X光衍射等手段分析离子束溅射膜的品质,表明材料组织结构相同,与基片附着性好,组织致密。
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