作者：张天舒,曾宇平,沈瑜生,魏明瑾 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1994年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1994030030 DOC编号：DOCCGQJ1994030039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 以不同锡、镉比的CdO、SnO_2混合粉料作靶，采用直流溅射方法制得镉、锡复合氧化物薄膜。由XPS及SEM分别对薄膜的组成与形貌进行分析，并探讨了掺钯前后，Sn/Cd比、工作温度及气体浓度等对CdO—SnO_2混合溅射膜性能的影响。

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