作者：叶庆泰,叶勇,陈劲松, 朱正 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》1994年第03期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM403.0150 DOC编号：DOCGXJM403.0159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 作者分析了闭环及开环控制系统各自的优缺点，提出了利用计算机高速大容量的特点进行离线检测、在线补偿的可能性，以及在实施过程中必须解决的关键问题。最后附有实测数据。该系统在２５ｍｍ行程中示值误差≤１μｍ、回程误差≤０．３μｍ、分辨率为０．１μｍ，结构简单、可靠、价格低廉。已获得专利。

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